日前，地處建德經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的廣鋼氣體建德智能裝備制造基地正式投產(chǎn)，并成功下線首套完全自主研制的Super-N 30K Pro超高純制氮機大型模塊化真空冷箱。這一突破標志著我國在超高純電子大宗氣體核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全鏈路自主可控，為半導體產(chǎn)業(yè)鏈安全注入強心劑。
廣鋼氣體是國內(nèi)領(lǐng)先的電子大宗氣體綜合服務(wù)商，專注于為集成電路制造、半導體顯示等高端制造業(yè)提供超高純電子大宗氣體解決方案。位于我市的廣鋼氣體智能裝備制造基地項目占地65.9畝，總投資2.68億元，是建德高端智能制造產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵一環(huán)。該基地落地投產(chǎn)有力推動了建德高端制造業(yè)的集聚，為我市的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化和升級提供強大動力，進而提升建德在高端裝備制造領(lǐng)域的整體競爭力。
廣鋼氣體建德智能裝備制造基地正式投產(chǎn)意義深遠：首先是制造能力飛躍，將顯著提升廣鋼氣體核心裝備制造的一致性，有效縮短交貨周期，為全球客戶提供更穩(wěn)定、更及時的供應(yīng)保障；其次是技術(shù)集成深化，將有力提升廣鋼氣體產(chǎn)品的集成度與定制化能力，能夠更精準、高效地滿足不同客戶對超高純電子大宗氣體的復雜需求；再者是研發(fā)創(chuàng)新引擎，該基地不僅是制造中心，更是廣鋼氣體核心裝備的尖端研發(fā)平臺。依托其先進的研發(fā)設(shè)施，廣鋼氣體將持續(xù)強化核心解決方案的創(chuàng)新能力，進一步引領(lǐng)技術(shù)升級，定義行業(yè)新標桿。
廣鋼氣體董事長鄧韜表示：“建德智能裝備制造基地僅用時9個月20天就實現(xiàn)從破土動工到正式投產(chǎn)，創(chuàng)造了行業(yè)新速度，這也是廣鋼氣體能力基因的進一步補強。它不僅鞏固了我們在超高純電子大宗氣體行業(yè)的領(lǐng)先優(yōu)勢，更是我們向世界級氣體公司目標邁進的關(guān)鍵一步。未來，從建德智能裝備制造基地下線的每一臺國產(chǎn)化核心設(shè)備，都將承載著我們對技術(shù)自主、保障供應(yīng)鏈安全、服務(wù)國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的堅定承諾?！?/p>
值得一提的是，廣鋼氣體此次下線的Super-N 30K Pro超高純制氮機可穩(wěn)定產(chǎn)出純度達PPB級（十億分之一）的氮氣，同時副產(chǎn)PPB級高純氧及粗氪氙液，滿足半導體制造對氣體雜質(zhì)的極限要求，其純度標準比肩國際頂尖產(chǎn)品，有效填補國內(nèi)超高純氣體裝置制造能力的空缺。而其大型模塊化真空冷箱設(shè)計首創(chuàng)一體化真空冷箱模塊結(jié)構(gòu)，將傳統(tǒng)分散設(shè)備集成至單一系統(tǒng)，大幅提升能效與穩(wěn)定性，為12英寸晶圓廠等高耗能場景提供高效解決方案。同時，從核心材料、控制系統(tǒng)到制造工藝實現(xiàn)100%國產(chǎn)化，徹底打破海外企業(yè)長達20年的技術(shù)壟斷。
Super-N 30K Pro超高純制氮機的下線，不僅是一臺設(shè)備的誕生，更是中國高端氣體裝備“研發(fā)—智造—應(yīng)用”閉環(huán)成型的歷史性標志。專注核心裝備的廣鋼氣體正以技術(shù)自主突破“卡脖子”困局，用科技硬實力改寫行業(yè)格局。
（記者 仰武）
