
近日,位于大洋鎮(zhèn)下王區(qū)塊的浙江芯之純半導體材料有限公司半導體級高純陶瓷產(chǎn)品建設項目迎來新進展。目前,該項目已進入試生產(chǎn)階段。
該項目總投資達2.4億元,占地約40畝(規(guī)劃用地面積約26702平方米),總建筑面積達19253.1平方米。項目聚焦高端半導體關鍵材料領域,主要建設內(nèi)容包括高純陶瓷產(chǎn)品生產(chǎn)廠房、先進制造裝置及配套設施。公司引進了高純碳化硅沉積爐、精密數(shù)控加工中心、全自動清洗線等國際先進設備,致力于打造國內(nèi)領先的半導體級高純陶瓷材料生產(chǎn)基地。
項目正式投產(chǎn)后,將具備年產(chǎn)6.31萬件(套)半導體級高純陶瓷產(chǎn)品的生產(chǎn)能力,產(chǎn)品涵蓋化學氣相沉積法制備的石墨基碳化硅涂層及固體碳化硅材料,廣泛應用于半導體設備、LED外延爐等關鍵環(huán)節(jié),填補國內(nèi)高端耗材領域的部分技術空白。
(來源:大洋鎮(zhèn))
